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掃 描 電 子 顯 微 鏡 和 能 譜 儀

圖:掃描電子顯微鏡和能譜儀

掃 描 電 子 顯 微 鏡 可 以 將 樣 品 影 像 放 大 至 10 萬 倍 , 用 作 分 析 物 品 表 面 的 細 微 結 構 。 而 物 件 的 表 面 特 徵 ﹑ 化 學 物 質 分 佈 和 元 素 成 份 可 以 利 用 不 同 的 探 測 器 , 如 : 二 次 電 子 探 測 器 ﹑ 背 散 射 電 子 探 測 器 和 能 譜 儀 作 分 析 研 究 。 非 導 體 物 品 可 以 通 過 調 教 樣 品 倉 的 氣 壓 環 境 直 接 進 行 分 析 , 可 以 省 卻 繁 複 的 濺 射 塗 膜 工 序 。

在 文 物 研 究 上 , 掃 描 電 鏡 已 被 廣 泛 應 用 在 辨 認 橫 切 面 的 顏 料 ﹑ 銹 蝕 物 的 研 究 ﹑ 金 相 分 析 和 鑑 定 建 築 物 釋 出 的 結 晶 鹽 。 因 電 子 束 的 衍 射 較 低 , 掃 描 電 鏡 比 光 學 顯 微 鏡 擁 有 較 高 的 解 析 度 和 更 大 的 景 深 。