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扫 描 电 子 显 微 镜 和 能 谱 仪

图:扫描电子显微镜和能谱仪


扫 描 电 子 显 微 镜 可 以 将 样 品 影 像 放 大 至 10 万 倍 , 用 作 分 析 物 品 表 面 的 细 微 结 构 。 而 物 件 的 表 面 特 徵 ﹑ 化 学 物 质 分 佈 和 元 素 成 份 可 以 利 用 不 同 的 探 测 器 , 如 : 二 次 电 子 探 测 器 ﹑ 背 散 射 电 子 探 测 器 和 能 谱 仪 作 分 析 研 究 。 非 导 体 物 品 可 以 通 过 调 教 样 品 仓 的 气 压 环 境 直 接 进 行 分 析 , 可 以 省 却 繁 複 的 溅 射 涂 膜 工 序 。

在 文 物 研 究 上 , 扫 描 电 镜 已 被 广 泛 应 用 在 辨 认 横 切 面 的 颜 料 ﹑ 锈 蚀 物 的 研 究 ﹑ 金 相 分 析 和 鑑 定 建 筑 物 释 出 的 结 晶 盐 。 因 电 子 束 的 衍 射 较 低 , 扫 描 电 镜 比 光 学 显 微 镜 拥 有 较 高 的 解 析 度 和 更 大 的 景 深 。